ТМ500 — передвижной гелиевый масс-спектрометрический течеискатель с сухим насосом. Предназначен для количественного контроля герметичности вакуумным методом и для локального поиска негерметичных участков щуповым методом при избыточном давлении гелия.

Основная область выбора данной модели — полупроводниковое производство, газовые шкафы, солнечная энергетика и процессы с повышенными требованиями к чистоте. Ключевое преимущество — сухая откачка при производительности, близкой к ТМ100, и отсутствие масляного загрязнения.

Области применения:
— научно-исследовательские и испытательные подразделения
— авиационная и космическая промышленность
— полупроводниковая промышленность и газовые шкафы
— солнечная энергетика и чистые производственные процессы

Технические характеристики:
Минимально регистрируемый поток (вакуумный метод) — 5×10⁻¹³ Па·м³/с
Минимально регистрируемый поток (щуповый метод) — 5×10⁻⁹ Па·м³/с
Диапазон измерений — от 1×10⁻³ до 1×10⁻¹³ Па·м³/с
Время готовности после включения — не более 2 мин
Время отклика — менее 0,5 с
Скорость откачки форвакуумного насоса — 14,5 м³/ч (4 л/с)
Масса — 75 кг
Габариты (Д×Ш×В) — 845×465×988 мм
Электропитание — однофазное, 220 В, 50 Гц
Условия эксплуатации — от 0 до 50°C, влажность менее 80%